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Abstract

Dans le présent travail, nous présentons une étude menée sur des adsorptions et des
désorptions d’oxygène réalisées sur des couches d’oxyde de zinc. L’objectif est de régénéré la
surface de ces couches et de déterminer les ordres de grandeur des énergies d’interaction entre
l’oxygène et les états superficiels de ces matériaux, ainsi pour montre les constantes de la
cinétique d’adsorption. Nous nous sommes basés sur le modèles de T. Wolkenstein qui permettent de calculer l’énergie de désorption thermique Wdes et le modèle de J. C. LETHIESSE et R. LALAUZE qui permettent de calculer les constants de la cinétique
d’adsorption . La signature de la désorption présente des pics aux températures Tm où certains
états adsorbés se désorbent. Les valeurs de Wdes trouvées sont de l’ordre de 0.19eV à 1.73eV.
Les courbes théoriques ajuster, montre les constantes de la cinétique d’adsorption pour trois
pics de la signature. Les constantes de la cinétique d’adsorption à Ta=19°C sont : Pour la première pic (Tm=172°C) a=10, a’=7 et b=4, b’=0.7. Pour la deuxième pic (Tm=140°C)
a=29, a’=0.9 et b=12, b’=0.3. Pour la troisième pic (Tm=66°C) a=1.45, a\' = 3.2 et b = 1.7,
b’= 0.00009.
Mots Clé : semi-conducteur, surfaces, adsorption, désorption, gaz


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